Publications
- 2024
- Published
Modification of glass by a laser for the use in micro-electric systems and quantum devices
Keinert, L., Koch, J. (Contributor), Künzler, C. (Contributor), Dehning, K. J. (Contributor), Kassner, A. (Contributor), Dencker, F. (Contributor), Zimmermann, S. (Contributor) & Wurz, M. (Contributor), 11 Mar 2024, Book of abstracts for the EQTC 2023. Schnitger, A., Husemann, R. & Liebisch, T. (eds.). Hannover, p. 91Research output: Chapter in book/report/conference proceeding › Conference abstract › Research
- 2023
- Published
Miniaturized quantum systems for inertial measurement units
Kassner, A., Diekmann, L., Künzler, C., Petring, J., Droese, N., Dencker, F., Heine, H., Abend, S., Gersemann, M., Rasel, E. M., Herr, W., Schubert, C. & Wurz, M. C., 2023, 2023 DGON Inertial Sensors and Systems (ISS). Hecker, P. (ed.). (International Symposium on Inertial Sensors and Systems).Research output: Chapter in book/report/conference proceeding › Conference contribution › Research › peer review
- 2022
- Published
Tiefziehen mit integrierter induktiver Flanscheinzugssensorik in Dünnschichttechnik: Schlussbericht vom 28.02.2022 zu IGF-Vorhaben Nr. 20468 N : Berichtszeitraum: 01.03.2019 bis 31.08.2021
Fünfkirchler, T., Pfeffer, C., Micke-Camuz, M., Arndt, M., Glukhovskoy, A., Künzler, C., Ottermann, R., Behrens, B., Maier, H. J. & Salomon, R., 2022, Düsseldorf. (Forschung für die Praxis / Forschungsvereinigung Stahlanwendung e.V; vol. 1217)Research output: Book/Report › Other report › Research
- 2021
- Published
Mikrotechnologische Fertigung von integrierten optischen Gittern mittels Lift-Off-Prozess für den Einsatz in Atominterferometern
de Wall, S., Kassner, A., Dencker, F., Künzler, C., Diekmann, L. & Würz, M. C., 2021, MikroSystemTechnik Kongress 2021: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte, Proceedings. VDE Verlag GmbH, p. 466-468 3 p. (MikroSystemTechnik Kongress 2021: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte, Proceedings).Research output: Chapter in book/report/conference proceeding › Conference contribution › Research › peer review
- 2020
- Published
Mikrotechnologische Fertigung von integrierten optischen Gittern für den Einsatz in Atominterferometern
de Wall, S., Kassner, A., Dencker, F., Künzler, C., Heine, H., Herr, W., Christ, M., Krutzik, M., Rasel, E. M. & Wurz, M. C., 2020, GMM-Fb. 97: Mikro-Nano-Integration. Berlin: VDE Verlag GmbH, p. 56-59 4 p. (GMM-Fachberichte).Research output: Chapter in book/report/conference proceeding › Conference contribution › Research › peer review
- 2019
- Published
Atomchips mit integrierten optischen Gittern zur Erzeugung von Bose-Einstein-Kondensaten
Kassner, A., Dencker, F., Künzler, C., Heine, H., Herr, W., Christ, M., Krutzik, M., Rasel, E. M. & Wurz, M., 2019, MikroSystemTechnik Kongress 2019: Mikroelektronik | MEMS-MOEMS | Systemintegration - Saulen der Digitalisierung und kunstlichen Intelligenz, Proceedings. VDE Verlag GmbH, p. 541-544 4 p.Research output: Chapter in book/report/conference proceeding › Conference contribution › Research › peer review