Details
| Original language | German |
|---|---|
| Patent number | DE102017113212 |
| IPC | C23C 16/ 04 A I |
| Priority date | 15 Jun 2017 |
| Publication status | Published - 11 Oct 2018 |
Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Bauteils mit zumindest einer elektrischen Kenngröße des elektrischen Bauteils, die in einem vorgegebenen Toleranzbereich ist, wobei durch Abscheiden eines Materials auf einem Substrat das elektrische Bauteil gebildet wird, wobei im Verlaufe des Abscheideprozesses jeweilige Werte der elektrischen Kenngröße durch Messungen kontinuierlich oder zu diskreten Zeitpunkten erfasst werden und aufgrund eines, mehrerer oder aller erfassten Werte wenigstens ein Parameter des Abscheideprozesses beeinflusst wird, bis die elektrische Kenngröße im vorgegebenen Toleranzbereich ist. Die Erfindung betrifft außerdem eine Anlage zur Herstellung eines elektrischen Bauteils mittels eines solchen Verfahrens sowie ein Computerprogramm zur Durchführung eines solchen Verfahrens.
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Patent No.: DE102017113212. Oct 11, 2018.
Research output: Patent
}
TY - PAT
T1 - Verfahren und Anlage zur Herstellung eines elektrischen Bauteils sowie Computerprogramm
AU - Klaas, Daniel
AU - Wurz, Marc Christopher
AU - Maier, Hans Jürgen
PY - 2018/10/11
Y1 - 2018/10/11
N2 - Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Bauteils mit zumindest einer elektrischen Kenngröße des elektrischen Bauteils, die in einem vorgegebenen Toleranzbereich ist, wobei durch Abscheiden eines Materials auf einem Substrat das elektrische Bauteil gebildet wird, wobei im Verlaufe des Abscheideprozesses jeweilige Werte der elektrischen Kenngröße durch Messungen kontinuierlich oder zu diskreten Zeitpunkten erfasst werden und aufgrund eines, mehrerer oder aller erfassten Werte wenigstens ein Parameter des Abscheideprozesses beeinflusst wird, bis die elektrische Kenngröße im vorgegebenen Toleranzbereich ist. Die Erfindung betrifft außerdem eine Anlage zur Herstellung eines elektrischen Bauteils mittels eines solchen Verfahrens sowie ein Computerprogramm zur Durchführung eines solchen Verfahrens.
AB - Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Bauteils mit zumindest einer elektrischen Kenngröße des elektrischen Bauteils, die in einem vorgegebenen Toleranzbereich ist, wobei durch Abscheiden eines Materials auf einem Substrat das elektrische Bauteil gebildet wird, wobei im Verlaufe des Abscheideprozesses jeweilige Werte der elektrischen Kenngröße durch Messungen kontinuierlich oder zu diskreten Zeitpunkten erfasst werden und aufgrund eines, mehrerer oder aller erfassten Werte wenigstens ein Parameter des Abscheideprozesses beeinflusst wird, bis die elektrische Kenngröße im vorgegebenen Toleranzbereich ist. Die Erfindung betrifft außerdem eine Anlage zur Herstellung eines elektrischen Bauteils mittels eines solchen Verfahrens sowie ein Computerprogramm zur Durchführung eines solchen Verfahrens.
M3 - Patent
M1 - DE102017113212
ER -