de Wall, S.,
Kassner, A.,
Dencker, F.,
Künzler, C.,
Diekmann, L. &
Würz, M. C.,
2021,
MikroSystemTechnik Kongress 2021: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte, Proceedings. VDE Verlag GmbH,
p. 466-468 3 p. (MikroSystemTechnik Kongress 2021: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte, Proceedings).
Research output: Chapter in book/report/conference proceeding › Conference contribution › Research › peer review