Details
| Translated title of the contribution | Process development for the fabrication of substratless micro systems using the example of a micro transformer |
|---|---|
| Original language | German |
| Qualification | Doctor of Engineering |
| Awarding Institution | |
| Supervised by |
|
| Date of Award | 29 Sept 2020 |
| Place of Publication | Garbsen |
| Print ISBNs | 3959005091, 9783959005098 |
| Electronic ISBNs | 978-3-95900-515-9 |
| Publication status | Published - 2020 |
Abstract
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Garbsen, 2020. 139 p.
Research output: Thesis › Doctoral thesis
}
TY - BOOK
T1 - Prozessentwicklung zur Fertigung von substratlosen Mikrosystemen am Beispiel eines Mikro-Transformators
AU - Beringer, Sebastian
N1 - Dissertation
PY - 2020
Y1 - 2020
N2 - In der vorliegenden Arbeit wird die Prozessentwicklung zur Fertigung von substratlosen Mikro-Transformatoren vorgestellt. Die Neuerung besteht darin Polyimid als Träger zu verwenden und somit den Bauraum der Mikro-Transformatoren zu reduzieren. Für die Fertigung wird ein flüssiger Polyimidpräkursor auf einen temporären Träger aufgebracht. Die weichmagnetischen Ringkerne werden elektrolytisch aus einer Nickel-Eisen-Legierungen hergestellt. Die Thermobehandlung der Legierung führt zu einer Reduktion der Koerzitivfeldstärke und eine Erhöhung der magnetischen Sättigungsfeldstärke. Die Ablösung des Mikrosystems wird mithilfe der anodischen Auflösung von Aluminium durchgeführt. Die Ablösung erfolgt in 0,5 molarer Natriumchloridlösung. Die gefertigten Mikrosysteme werden anhand der Impedanz und des frequenzabhängigen Induktivitätsverlaufs beurteilt.
AB - In der vorliegenden Arbeit wird die Prozessentwicklung zur Fertigung von substratlosen Mikro-Transformatoren vorgestellt. Die Neuerung besteht darin Polyimid als Träger zu verwenden und somit den Bauraum der Mikro-Transformatoren zu reduzieren. Für die Fertigung wird ein flüssiger Polyimidpräkursor auf einen temporären Träger aufgebracht. Die weichmagnetischen Ringkerne werden elektrolytisch aus einer Nickel-Eisen-Legierungen hergestellt. Die Thermobehandlung der Legierung führt zu einer Reduktion der Koerzitivfeldstärke und eine Erhöhung der magnetischen Sättigungsfeldstärke. Die Ablösung des Mikrosystems wird mithilfe der anodischen Auflösung von Aluminium durchgeführt. Die Ablösung erfolgt in 0,5 molarer Natriumchloridlösung. Die gefertigten Mikrosysteme werden anhand der Impedanz und des frequenzabhängigen Induktivitätsverlaufs beurteilt.
M3 - Dissertation
SN - 3959005091
SN - 9783959005098
T3 - Berichte aus dem impt
CY - Garbsen
ER -