Details
| Translated title of the contribution | Modelling and fabrication of an acoustic transducer on wafer level by using polymer membranes |
|---|---|
| Original language | German |
| Qualification | Doctor of Engineering |
| Awarding Institution | |
| Supervised by |
|
| Date of Award | 21 Apr 2021 |
| Place of Publication | Garbsen |
| Print ISBNs | 978-3-95900-640-8 |
| Electronic ISBNs | 978-3-95900-646-0 |
| Publication status | Published - 2021 |
Abstract
Diese besitzen in den häufigsten Fällen eine schwingende Membran aus einer Siliziumverbindung. Eine Alternative hierzu kann eine Membran aus einem Polymer sein, welche andere Eigenschaften mitbringt und in der Verarbeitung weitere Bereiche öffnet, wie beispielsweise die Verwendung auf einer technischen Oberfläche.
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Garbsen, 2021. 118 p.
Research output: Thesis › Doctoral thesis
}
TY - BOOK
T1 - Modellierung und Herstellung eines akustischen Wandlers auf Waferniveau unter Einsatz von Polymermembranen
AU - Kaiser, Matthias
N1 - Dissertation
PY - 2021
Y1 - 2021
N2 - Die Fortschritte in der Entwicklung von medialen Endgeräten sind ein nicht zu übersehender Motor für die Entwicklung neuer Technologien und Methoden zur Herstellung von Aktoren und Sensoren. Hierzu zählen nicht nur unter anderem die Sensorik zur Festlegung der Position und Lage des Endgerätes, sondern auch akustische Wandler, welche sowohl digitale Signale in Schallwellen aber auch demgegenüber Schallwellen in ein elektrisches Signal umwandeln. Im Bereich der letztgenannten Wandlungsart gibt es bereits durchaus etablierte Produkte, die auf Grundlage des elektrostatischen Prinzips agieren. Hier sind vor allem die Systeme mit Elektret zu nennen, aber auch Systeme in Form eines kapazitiven Wandlers sind hier vertreten.Diese besitzen in den häufigsten Fällen eine schwingende Membran aus einer Siliziumverbindung. Eine Alternative hierzu kann eine Membran aus einem Polymer sein, welche andere Eigenschaften mitbringt und in der Verarbeitung weitere Bereiche öffnet, wie beispielsweise die Verwendung auf einer technischen Oberfläche.
AB - Die Fortschritte in der Entwicklung von medialen Endgeräten sind ein nicht zu übersehender Motor für die Entwicklung neuer Technologien und Methoden zur Herstellung von Aktoren und Sensoren. Hierzu zählen nicht nur unter anderem die Sensorik zur Festlegung der Position und Lage des Endgerätes, sondern auch akustische Wandler, welche sowohl digitale Signale in Schallwellen aber auch demgegenüber Schallwellen in ein elektrisches Signal umwandeln. Im Bereich der letztgenannten Wandlungsart gibt es bereits durchaus etablierte Produkte, die auf Grundlage des elektrostatischen Prinzips agieren. Hier sind vor allem die Systeme mit Elektret zu nennen, aber auch Systeme in Form eines kapazitiven Wandlers sind hier vertreten.Diese besitzen in den häufigsten Fällen eine schwingende Membran aus einer Siliziumverbindung. Eine Alternative hierzu kann eine Membran aus einem Polymer sein, welche andere Eigenschaften mitbringt und in der Verarbeitung weitere Bereiche öffnet, wie beispielsweise die Verwendung auf einer technischen Oberfläche.
M3 - Dissertation
SN - 978-3-95900-640-8
T3 - Berichte aus dem Impt
CY - Garbsen
ER -