Details
| Original language | German |
|---|---|
| Volume | 32 |
| Journal | phi – Produktionstechnik Hannover informiert |
| Publication status | Published - 23 Jul 2021 |
Abstract
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In: phi – Produktionstechnik Hannover informiert, Vol. 32, 23.07.2021.
Research output: Contribution to specialist publication › Contribution in popular science journal › Transfer
}
TY - GEN
T1 - Entwicklung eines piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnfilms
AU - Steinhoff, Lukas
PY - 2021/7/23
Y1 - 2021/7/23
N2 - Das Institut für Mikroproduktionstechnik (IMPT) arbeitet an einer Prozessfolge zur Abscheidung und Strukturierung eines Aluminiumnitrid-Dünnfilms, welcher aufgrund der piezoelektrischen Eigenschaften sowohl in Sensor- als auch Aktorsystemen Anwendung finden kann.
AB - Das Institut für Mikroproduktionstechnik (IMPT) arbeitet an einer Prozessfolge zur Abscheidung und Strukturierung eines Aluminiumnitrid-Dünnfilms, welcher aufgrund der piezoelektrischen Eigenschaften sowohl in Sensor- als auch Aktorsystemen Anwendung finden kann.
U2 - 10.48811/phi-21-011
DO - 10.48811/phi-21-011
M3 - Beitrag in populärwissenschaftlicher Zeitung/Zeitschrift
VL - 32
JO - phi – Produktionstechnik Hannover informiert
JF - phi – Produktionstechnik Hannover informiert
SN - 2198-1922
ER -