Entwicklung eines integrierten Sensor-Aktor-Systems zur Steigerung der Prozessqualität beim Ultraschall-Drahtbonden

Research output: Contribution to journalArticleResearchpeer review

Authors

  • M. Brökelmann
  • J. Wallaschek
  • H. Hesse

External Research Organisations

  • Association of German Engineers (VDI)
View graph of relations

Details

Original languageGerman
Pages (from-to)229-248
Number of pages20
JournalVDI Berichte
Issue number1753
Publication statusPublished - 2003
Externally publishedYes

ASJC Scopus subject areas

Cite this

Entwicklung eines integrierten Sensor-Aktor-Systems zur Steigerung der Prozessqualität beim Ultraschall-Drahtbonden. / Brökelmann, M.; Wallaschek, J.; Hesse, H.
In: VDI Berichte, No. 1753, 2003, p. 229-248.

Research output: Contribution to journalArticleResearchpeer review

Brökelmann, M, Wallaschek, J & Hesse, H 2003, 'Entwicklung eines integrierten Sensor-Aktor-Systems zur Steigerung der Prozessqualität beim Ultraschall-Drahtbonden', VDI Berichte, no. 1753, pp. 229-248.
Brökelmann, M., Wallaschek, J., & Hesse, H. (2003). Entwicklung eines integrierten Sensor-Aktor-Systems zur Steigerung der Prozessqualität beim Ultraschall-Drahtbonden. VDI Berichte, (1753), 229-248.
Brökelmann, M. ; Wallaschek, J. ; Hesse, H. / Entwicklung eines integrierten Sensor-Aktor-Systems zur Steigerung der Prozessqualität beim Ultraschall-Drahtbonden. In: VDI Berichte. 2003 ; No. 1753. pp. 229-248.
Download
@article{3c8119afdf344bc7b3065dd114417a5b,
title = "Entwicklung eines integrierten Sensor-Aktor-Systems zur Steigerung der Prozessqualit{\"a}t beim Ultraschall-Drahtbonden",
author = "M. Br{\"o}kelmann and J. Wallaschek and H. Hesse",
note = "Copyright: Copyright 2013 Elsevier B.V., All rights reserved.",
year = "2003",
language = "Deutsch",
pages = "229--248",
number = "1753",

}

Download

TY - JOUR

T1 - Entwicklung eines integrierten Sensor-Aktor-Systems zur Steigerung der Prozessqualität beim Ultraschall-Drahtbonden

AU - Brökelmann, M.

AU - Wallaschek, J.

AU - Hesse, H.

N1 - Copyright: Copyright 2013 Elsevier B.V., All rights reserved.

PY - 2003

Y1 - 2003

UR - http://www.scopus.com/inward/record.url?scp=4444249954&partnerID=8YFLogxK

M3 - Artikel

AN - SCOPUS:4444249954

SP - 229

EP - 248

JO - VDI Berichte

JF - VDI Berichte

SN - 0083-5560

IS - 1753

ER -