Details
| Original language | German |
|---|---|
| Title of host publication | Proceedings of the MikroSystemTechnik Kongress 2017 |
| Publication status | Published - 2017 |
| Event | MikroSystemTechnik Kongress 2017: MEMS, Mikroelektronik, Systeme - München, Germany Duration: 23 Oct 2017 → 25 Oct 2017 |
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Elektromechanischer Mikro-Biegeaktor als optischer Shutte. / Wurz, Marc Christopher; Pyatishev, E.; Glukhovskoy, Anatoly et al.
Proceedings of the MikroSystemTechnik Kongress 2017. 2017.
Proceedings of the MikroSystemTechnik Kongress 2017. 2017.
Research output: Chapter in book/report/conference proceeding › Conference contribution › Research
Wurz, MC, Pyatishev, E, Glukhovskoy, A, Fischer, EC, Kleimanov, R, Odintsov, A & Pyatishev, E 2017, Elektromechanischer Mikro-Biegeaktor als optischer Shutte. in Proceedings of the MikroSystemTechnik Kongress 2017. MikroSystemTechnik Kongress 2017: MEMS, Mikroelektronik, Systeme, München, Bavaria, Germany, 23 Oct 2017.
Wurz, M. C., Pyatishev, E., Glukhovskoy, A., Fischer, E. C., Kleimanov, R., Odintsov, A., & Pyatishev, E. (2017). Elektromechanischer Mikro-Biegeaktor als optischer Shutte. In Proceedings of the MikroSystemTechnik Kongress 2017
Wurz MC, Pyatishev E, Glukhovskoy A, Fischer EC, Kleimanov R, Odintsov A et al. Elektromechanischer Mikro-Biegeaktor als optischer Shutte. In Proceedings of the MikroSystemTechnik Kongress 2017. 2017
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@inproceedings{3d42a76720044d90a8b46974b7c14865,
title = "Elektromechanischer Mikro-Biegeaktor als optischer Shutte",
author = "Wurz, {Marc Christopher} and E. Pyatishev and Anatoly Glukhovskoy and Fischer, {Eike Christian} and R. Kleimanov and A. Odintsov and E. Pyatishev",
year = "2017",
language = "Deutsch",
isbn = "978-3-8007-4491-6",
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note = "MikroSystemTechnik Kongress 2017: MEMS, Mikroelektronik, Systeme ; Conference date: 23-10-2017 Through 25-10-2017",
}
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TY - GEN
T1 - Elektromechanischer Mikro-Biegeaktor als optischer Shutte
AU - Wurz, Marc Christopher
AU - Pyatishev, E.
AU - Glukhovskoy, Anatoly
AU - Fischer, Eike Christian
AU - Kleimanov, R.
AU - Odintsov, A.
AU - Pyatishev, E.
PY - 2017
Y1 - 2017
M3 - Aufsatz in Konferenzband
SN - 978-3-8007-4491-6
BT - Proceedings of the MikroSystemTechnik Kongress 2017
T2 - MikroSystemTechnik Kongress 2017: MEMS, Mikroelektronik, Systeme
Y2 - 23 October 2017 through 25 October 2017
ER -