Einrichtung und Erzeugung von UV-Strahlung, insbesondere EUV-Strahlung

Details

Translated title of the contribution	Device and method for generating UV radiation, in particular EUV radiation
Original language	German
Patent number	DE20213975U1
IPC	H01J35/00
Priority date	6 Sept 2002
Filing date	6 Sept 2002
Publication status	Published - 19 Dec 2002

Einrichtung und Erzeugung von UV-Strahlung, insbesondere EUV-Strahlung. / Chichkov, Boris (Inventor); Becker, Stefan (Inventor); Neuser, Eberhard (Inventor) et al.
Patent No.: DE20213975U1. Dec 19, 2002.

Research output: Patent

Chichkov B, Becker S, Neuser E, Appelt H, Egbert A, inventors. Einrichtung und Erzeugung von UV-Strahlung, insbesondere EUV-Strahlung. DE20213975U1. 2002 Dec 19.

Chichkov, Boris (Inventor) ; Becker, Stefan (Inventor) ; Neuser, Eberhard (Inventor) et al. / Einrichtung und Erzeugung von UV-Strahlung, insbesondere EUV-Strahlung. Patent No.: DE20213975U1. Dec 19, 2002.

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author = "Boris Chichkov and Stefan Becker and Eberhard Neuser and Helmut Appelt and Andre Egbert",

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TY - PAT

T1 - Einrichtung und Erzeugung von UV-Strahlung, insbesondere EUV-Strahlung

AU - Chichkov, Boris

AU - Becker, Stefan

AU - Neuser, Eberhard

AU - Appelt, Helmut

AU - Egbert, Andre

N1 - Außerdem veröffentlicht als: AU2003271762A1; WO2004023512A1

PY - 2002/12/19

Y1 - 2002/12/19

M3 - Patent

M1 - DE20213975U1

Y2 - 2002/09/06

ER -