Einfluss von Kohlenstoff-Deltaschichten auf die Defektausbreitung in der Germaniumepitaxie

Research output: ThesisDoctoral thesis

Authors

  • Yvo Barnscheidt
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Details

Original languageGerman
QualificationDoctor of Engineering
Awarding Institution
Supervised by
  • Hans-Jörg Osten, Supervisor
Date of Award13 Jul 2021
Place of PublicationHannover
Publication statusPublished - 2021

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Einfluss von Kohlenstoff-Deltaschichten auf die Defektausbreitung in der Germaniumepitaxie. / Barnscheidt, Yvo.
Hannover, 2021. 169 p.

Research output: ThesisDoctoral thesis

Barnscheidt, Y 2021, 'Einfluss von Kohlenstoff-Deltaschichten auf die Defektausbreitung in der Germaniumepitaxie', Doctor of Engineering, Leibniz University Hannover, Hannover. https://doi.org/10.15488/11162
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TY - BOOK

T1 - Einfluss von Kohlenstoff-Deltaschichten auf die Defektausbreitung in der Germaniumepitaxie

AU - Barnscheidt, Yvo

N1 - Dissertation

PY - 2021

Y1 - 2021

U2 - 10.15488/11162

DO - 10.15488/11162

M3 - Dissertation

CY - Hannover

ER -