Details
| Translated title of the contribution | Dynamic autofocussensor for measuring threedimensional microstructures |
|---|---|
| Original language | German |
| Pages (from-to) | 3-9 |
| Number of pages | 7 |
| Journal | Technisches Messen |
| Volume | 59 |
| Issue number | 1 |
| Publication status | Published - 1 Jan 1992 |
| Externally published | Yes |
Abstract
In der Mikromechanik und Mikroelektronik müssen plana-re Strukturen vermessen werden. Solche Strukturen weisen häufig steile Flanken auf. Neben der Strukturhöhe sind die Strukturbreite und die Steilheit der Flanken wesentliche Meßgrößen. Dafür wird ein geeignetes Sensorsystem entwickelt. Es hat sich gezeigt, daß zweckmäßigerweise ein marktüblicher dynamischer Autofokussensor genutzt werden kann, um eine Meßachse darzustellen. Dazu sind nun zwei weitere, eine lineare und eine rotatorische Meßachse realisiert und die Meß- und Auswertestrategien für das Zusammenwirken des Autofokussystems und der beiden Zusatzachsen entwickelt worden.
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In: Technisches Messen, Vol. 59, No. 1, 01.01.1992, p. 3-9.
Research output: Contribution to journal › Article › Research › peer review
}
TY - JOUR
T1 - Dynamischer Autofokussensor zur dreidimensionalen Mikrostrukturerfassung
AU - Overmeyer, Ludger
AU - Dickmann, K.
PY - 1992/1/1
Y1 - 1992/1/1
N2 - In der Mikromechanik und Mikroelektronik müssen plana-re Strukturen vermessen werden. Solche Strukturen weisen häufig steile Flanken auf. Neben der Strukturhöhe sind die Strukturbreite und die Steilheit der Flanken wesentliche Meßgrößen. Dafür wird ein geeignetes Sensorsystem entwickelt. Es hat sich gezeigt, daß zweckmäßigerweise ein marktüblicher dynamischer Autofokussensor genutzt werden kann, um eine Meßachse darzustellen. Dazu sind nun zwei weitere, eine lineare und eine rotatorische Meßachse realisiert und die Meß- und Auswertestrategien für das Zusammenwirken des Autofokussystems und der beiden Zusatzachsen entwickelt worden.
AB - In der Mikromechanik und Mikroelektronik müssen plana-re Strukturen vermessen werden. Solche Strukturen weisen häufig steile Flanken auf. Neben der Strukturhöhe sind die Strukturbreite und die Steilheit der Flanken wesentliche Meßgrößen. Dafür wird ein geeignetes Sensorsystem entwickelt. Es hat sich gezeigt, daß zweckmäßigerweise ein marktüblicher dynamischer Autofokussensor genutzt werden kann, um eine Meßachse darzustellen. Dazu sind nun zwei weitere, eine lineare und eine rotatorische Meßachse realisiert und die Meß- und Auswertestrategien für das Zusammenwirken des Autofokussystems und der beiden Zusatzachsen entwickelt worden.
KW - Autofokussensor Mikrostrukturen Lasermeß
KW - technik 3D-Geometrieerfassung
UR - http://www.scopus.com/inward/record.url?scp=0026723172&partnerID=8YFLogxK
U2 - 10.1524/teme.1992.59.1.3
DO - 10.1524/teme.1992.59.1.3
M3 - Artikel
AN - SCOPUS:0026723172
VL - 59
SP - 3
EP - 9
JO - Technisches Messen
JF - Technisches Messen
SN - 0171-8096
IS - 1
ER -