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Institute of Micro Production Technology

Organisational unit: Institute

Type of address: Visitor address.
An der Universität 2
30823
Garbsen
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Publications

  1. 2021
  2. Published

    Einfluss von Silan-dotierten Umgebungsatmosphären auf tribologischen Eigenschaften von Titan

    Raumel, S., Barienti, K., Dencker, F., Nürnberger, F. & Wurz, M. C., Mar 2021, In: Tribologie und Schmierungstechnik. 68, 1, p. 5-13 9 p.

    Research output: Contribution to journal › Article › Research › peer review

  3. Published

    Sensorbauteil, Halbzeug, Verfahren zur Anbringung und zur Herstellung eines Sensorbauteils

    Dencker, F. (Inventor), Wurz, M. C. (Inventor), Maier, H. J. (Inventor), Ottermann, R. (Inventor), Kassner, A. (Inventor) & Klaas, D. (Inventor), 25 Feb 2021, IPC No. G01N 27/ 04 A I, Patent No. DE102019122623, Priority date 22 Aug 2019, Priority No. DE201910122623

    Research output: Patent

  4. Published

    Anisotropic Magneto-Resistive Sensor Effect based Sensor using Daisy Chain on Polyether Ether Ketone Substrate

    De Wall, S., Bengsch, S., Fischer, E., Dencker, F. & Wurz, M. C., 2021, 2021 IEEE Sensors. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., (Proceedings of IEEE Sensors; vol. 2021-October).

    Research output: Chapter in book/report/conference proceeding › Conference contribution › Research › peer review

  5. Published

    Combination of Additive and Thin-Film Technological Manufacturing for the Realization of a Pressure Sensor for Biomedical Applications

    Prediger, M. S., Müller, E., Bengsch, S. & Wurz, M. C., 2021, MikroSystemTechnik Kongress 2021: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte, Proceedings. VDE Verlag GmbH, p. 578-581 4 p. (MikroSystemTechnik Kongress 2021: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte, Proceedings).

    Research output: Chapter in book/report/conference proceeding › Conference contribution › Research › peer review

  6. Published

    Development of a Polyimid Membrane for Electromagnetic Middle-Ear Actuators

    Glukhovskoy, A., Müller, E., Prediger, M. S., Maier, H. & Wurz, M. C., 2021, MikroSystemTechnik Kongress 2021: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte, Proceedings. VDE Verlag GmbH, p. 186-189 4 p. (MikroSystemTechnik Kongress 2021: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte, Proceedings).

    Research output: Chapter in book/report/conference proceeding › Conference contribution › Research › peer review

  7. Published

    Directly Deposited Thin-Film Strain Gauges on Curved Metallic Surfaces

    Ottermann, R., Klaas, D., Dencker, F., Hoheisel, D., Jung, S., Wienke, A., Dusing, J. F., Koch, J. & Wurz, M. C., 2021, 2021 IEEE Sensors, SENSORS 2021 - Conference Proceedings. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., (Proceedings of IEEE Sensors; vol. 2021-October).

    Research output: Chapter in book/report/conference proceeding › Conference contribution › Research › peer review

  8. Published

    Direktabgeschiedene Dünnfilm-Dehnungsmessstreifen für erhöhte Temperaturen

    Ottermann, R., Klaas, D., Dencker, F. E., Hoheisel, D., Rottengatter, P., Kruspe, T., Jung, S. & Wurz, M., 2021, MikroSystemTechnik Kongress 2021: Proceedings. Berlin: VDE Verlag GmbH, p. 315-316 2 p.

    Research output: Chapter in book/report/conference proceeding › Conference contribution › Research › peer review

  9. Published

    Direktabgeschiedene Dünnfilmsensorik mithilfe einer neuartigen Beschichtungsanlage

    Ottermann, R., Klaas, D., Dencker, F. E. & Wurz, M., 2021, 27. NDVaK-Kolloquium. Dresden

    Research output: Chapter in book/report/conference proceeding › Conference contribution › Research

  10. Published

    Fabrication of a Low Profile Planar Transformer Using a Dual PCB Approach

    Fischer, E. C., Bierwirth, T. N., Dencker, F. & Wurz, M. C., 2021, MikroSystemTechnik Kongress 2021: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte, Proceedings. VDE Verlag GmbH, p. 483-486 4 p. (MikroSystemTechnik Kongress 2021: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte, Proceedings).

    Research output: Chapter in book/report/conference proceeding › Conference contribution › Research

  11. Published

    Film transfer from thin films to metal surfaces using sol-gels, self-assembling monolayers and water glass

    Basten, R. G., Zawacka, A. M., Bengsch, S., Prediger, M. S. & Wurz, M. C., 2021, MikroSystemTechnik Kongress 2021: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte, Proceedings. VDE Verlag GmbH, p. 27-30 4 p.

    Research output: Chapter in book/report/conference proceeding › Conference contribution › Research › peer review

  12. Published

    Investigation of tribologically relevant surface layers formed on non-ferrous metals in oxygen-free conditions

    Raumel, S., Dencker, F. & Wurz, M., 2021.

    Research output: Contribution to conference › Abstract › Research

  13. Published

    Investigations on Silver Sintering using an Ultrasonic Transient Liquid Phase Sintering Process

    Hadeler, S., Seefisch, H., Ottermann, R., Long, Y., Dencker, F., Wurz, M. C. & Twiefel, J., 2021, 2021 IEEE 23rd Electronics Packaging Technology Conference (EPTC). Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., p. 288-291 4 p.

    Research output: Chapter in book/report/conference proceeding › Conference contribution › Research › peer review

  14. Published

    Mikrotechnologische Fertigung von integrierten optischen Gittern mittels Lift-Off-Prozess für den Einsatz in Atominterferometern

    de Wall, S., Kassner, A., Dencker, F., Künzler, C., Diekmann, L. & Würz, M. C., 2021, MikroSystemTechnik Kongress 2021: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte, Proceedings. VDE Verlag GmbH, p. 466-468 3 p. (MikroSystemTechnik Kongress 2021: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte, Proceedings).

    Research output: Chapter in book/report/conference proceeding › Conference contribution › Research › peer review

  15. Published

    Modellierung und Herstellung eines akustischen Wandlers auf Waferniveau unter Einsatz von Polymermembranen

    Kaiser, M., 2021, Garbsen. 118 p.

    Research output: Thesis › Doctoral thesis

  16. Published

    Proof of Concept: Glass-Membrane Based Differential Pressure Sensor

    Glukhovskoy, A., Prediger, M. S., Schäfer, J., Ambrosio, A., Ambrosius, N., Vogt, A., Santos, R., Ostholt, R. & Wurz, M., 2021, 2021 IEEE 71st Electronic Components and Technology Conference (ECTC). p. 1563-1570 8 p. (Proceedings - Electronic Components and Technology Conference; vol. 2021-June).

    Research output: Chapter in book/report/conference proceeding › Conference contribution › Research › peer review

  17. Published

    SiC-Mikrofräswerkzeuge für die Mikrobearbeitung

    Asadi, E., 2021, Garbsen. 114 p.

    Research output: Thesis › Doctoral thesis

  18. Published

    Simulationsgestützte Auslegung und Fertigung von piezoelektrischen Kraftsensor-Arrays zur Untersuchung des Ultraschall-Drahtbondprozesses

    Arndt, M., Wurz, M. C., Dencker, F., Long, Y. & Twiefel, J., 2021, MikroSystemTechnik Kongress 2021: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte, Proceedings. VDE Verlag GmbH, p. 742-745 4 p. (MikroSystemTechnik Kongress 2021: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte, Proceedings).

    Research output: Chapter in book/report/conference proceeding › Conference contribution › Research › peer review

  19. Published

    Technologieentwicklung zur Direktabscheidung und Strukturierung von Sensorik auf insbesondere Großbauteilen am Beispiel von Dehnungsmessstreifen

    Klaas, D., 2021, Garbsen. 156 p.

    Research output: Thesis › Doctoral thesis

  20. 2020
  21. Published

    VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM BESTIMMEN EINER KONZENTRATION

    WURZ, Marc, C. (Inventor), Glukhovskoy, A. (Inventor), Schnebeck, T. (Inventor) & MAIER, Hans, J. (Inventor), 9 Dec 2020, IPC No. G01N 21/ 31 A I, Patent No. EP3746773, Priority date 30 Jan 2019, Priority No. WO2019EP52291

    Research output: Patent

  22. Published

    Verfahren zur Herstellung eines Formkörpers und Bauteil mit elektrischer Funktionalität

    Maier, H. J. (Inventor), Wurz, M. C. (Inventor) & Bengsch, S. (Inventor), 26 Nov 2020, IPC No. H05K 3/ 00 A I, Patent No. DE102019113973, Priority date 24 May 2019, Priority No. DE201910113973

    Research output: Patent

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