Schnellheizöfen (RTP/RTO/RTA)

Facility/Equipment: Research Instrumentation

Details

Description

Schnellheizöfen bei Normaldruck, für runde Wafer bis 150 mm Durchmesser, auch Solar, Temperung bis 1100 °C unter Ar, O2, N2 oder N2H2. (AST SHS 2000 und Eigenbau)

Access to facility/equipment

NameOliver Kerker
Available for loan/bookingPlease contact the contact person