Details
Description
UV Kontakt- und Proximity-Belichter für runde Wafer (Silizium und Germanium) bis 150 mm Durchmesser. Maskengröße 200*200 mm2 quadratisch, minimale Linienbreite 900 nm
Access to facility/equipment
| Name | Oliver Kerker |
|---|
| Available for loan/booking | Please contact the contact person |
|---|