Lithografie, UV Kontakt und Proximity-Aligner Verbindungshalbleiter

Facility/Equipment: Research Instrumentation

Details

Description

UV Kontakt- und Proximity-Belichter für runde Wafer (Verbindungshalbleiter) bis 100 mm Durchmesser. Maskengröße 150*150 mm^2 quadratisch, minimale Linienbreite 700 nm (SÜSS MA4/6)

Access to facility/equipment

NameOliver Kerker
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