Publikationen
- 2023
- Veröffentlicht
Microtechnological Production of Integrated Optical Gratings Using Laser Beam Lithography for Atomic Interferometers
de Wall, S., Kassner, A., Dencker, F. & Wurz, M., 2023, Tagungsband MikroSystemTechnik Kongress 2023. 3 S.Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung
- Elektronisch veröffentlicht (E-Pub)
Performance Comparison of MR Sensors on Silicon and Bare PEEK (Polyether Ether Ketone) Wafers
de Wall, S., Bierwirth, T. N., Wurz, M. & Bengsch, S., 2023, (Elektronisch veröffentlicht (E-Pub)).Publikation: Konferenzbeitrag › Poster › Forschung
- 2021
- Veröffentlicht
Towards a Highly Sensitive Piezoelectric Nano-Mass Detection: A Model-Based Concept Study
Twiefel, J., Glukhovskoy, A., de Wall, S., Wurz, M. C., Sehlmeyer, M., Hitzemann, M. & Zimmermann, S., 4 Apr. 2021, in: Sensors. 21, 7, 15 S., 2533.Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Peer-Review
- Veröffentlicht
Anisotropic Magneto-Resistive Sensor Effect based Sensor using Daisy Chain on Polyether Ether Ketone Substrate
De Wall, S., Bengsch, S., Fischer, E., Dencker, F. & Wurz, M. C., 2021, 2021 IEEE Sensors. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., (Proceedings of IEEE Sensors; Band 2021-October).Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review
- Veröffentlicht
Mikrotechnologische Fertigung von integrierten optischen Gittern mittels Lift-Off-Prozess für den Einsatz in Atominterferometern
de Wall, S., Kassner, A., Dencker, F., Künzler, C., Diekmann, L. & Würz, M. C., 2021, MikroSystemTechnik Kongress 2021: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte, Proceedings. VDE Verlag GmbH, S. 466-468 3 S. (MikroSystemTechnik Kongress 2021: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte, Proceedings).Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review
- 2020
- Veröffentlicht
Giant Magneto-Resistive Effect based Sensor on Laser Direct Structured MID Substrates
Fischer, E. C., Bengsch, S., De Wall, S. & Wurz, M. C., 2020, Proceedings: IEEE 70th Electronic Components and Technology Conference, ECTC 2020. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., S. 439-444 6 S. 9159426. (Proceedings - Electronic Components and Technology Conference; Band 2020-June).Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review
- Veröffentlicht
Mikrotechnologische Fertigung von integrierten optischen Gittern für den Einsatz in Atominterferometern
de Wall, S., Kassner, A., Dencker, F., Künzler, C., Heine, H., Herr, W., Christ, M., Krutzik, M., Rasel, E. M. & Wurz, M. C., 2020, GMM-Fb. 97: Mikro-Nano-Integration. Berlin: VDE Verlag GmbH, S. 56-59 4 S. (GMM-Fachberichte).Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review
- Veröffentlicht
Optical Platform for Highly Precise Optical Components
Bengsch, S., Fischer, E., De Wall, S., Schelm, T., Arndt, M. & Wurz, M. C., 2020, Proceedings: IEEE 70th Electronic Components and Technology Conference, ECTC 2020. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., S. 2191-2196 6 S. 9159477. (Proceedings - Electronic Components and Technology Conference; Band 2020-June).Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review
- 2018
- Veröffentlicht
Structuring methods of polymers for low cost sensor manufacturing
Bengsch, S., Wurz, M. C., Aue, M. & De Wall, S., 7 Aug. 2018, Proceedings: IEEE 68th Electronic Components and Technology Conference, ECTC 2018. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., S. 1396-1401 6 S. 8429726. (Proceedings - Electronic Components and Technology Conference; Band 2018-May).Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review