Publikationen
- 2021
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Towards a Highly Sensitive Piezoelectric Nano-Mass Detection: A Model-Based Concept Study
Twiefel, J., Glukhovskoy, A., de Wall, S., Wurz, M. C., Sehlmeyer, M., Hitzemann, M. & Zimmermann, S., 4 Apr. 2021, in: Sensors. 21, 7, 15 S., 2533.Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Peer-Review
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Einfluss von Silan-dotierten Umgebungsatmosphären auf tribologischen Eigenschaften von Titan
Raumel, S., Barienti, K., Dencker, F., Nuernberger, F. & Wurz, M., 22 März 2021, in: Tribologie und Schmierungstechnik. 68, 1, S. 5-13 9 S.Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Peer-Review
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Verfahren zur Herstellung von Diamantspitzen
Dencker, F. (Erfinder*in), Wurz, M. C. (Erfinder*in) & Maier, H. J. (Erfinder*in), 4 März 2021, IPC Nr. G01Q 70/ 16 A I, Patent Nr. DE102019213043, Prioritätsdatum 29 Aug. 2019, Prioritätsnr. DE201910213043Publikation: Schutzrecht/Patent › Patent
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Einfluss von Silan-dotierten Umgebungsatmosphären auf tribologischen Eigenschaften von Titan
Raumel, S., Barienti, K., Dencker, F., Nürnberger, F. & Wurz, M. C., März 2021, in: Tribologie und Schmierungstechnik. 68, 1, S. 5-13 9 S.Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Peer-Review
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Sensorbauteil, Halbzeug, Verfahren zur Anbringung und zur Herstellung eines Sensorbauteils
Dencker, F. (Erfinder*in), Wurz, M. C. (Erfinder*in), Maier, H. J. (Erfinder*in), Ottermann, R. (Erfinder*in), Kassner, A. (Erfinder*in) & Klaas, D. (Erfinder*in), 25 Feb. 2021, IPC Nr. G01N 27/ 04 A I, Patent Nr. DE102019122623, Prioritätsdatum 22 Aug. 2019, Prioritätsnr. DE201910122623Publikation: Schutzrecht/Patent › Patent
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Anisotropic Magneto-Resistive Sensor Effect based Sensor using Daisy Chain on Polyether Ether Ketone Substrate
De Wall, S., Bengsch, S., Fischer, E., Dencker, F. & Wurz, M. C., 2021, 2021 IEEE Sensors. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., (Proceedings of IEEE Sensors; Band 2021-October).Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review
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Combination of Additive and Thin-Film Technological Manufacturing for the Realization of a Pressure Sensor for Biomedical Applications
Prediger, M. S., Müller, E., Bengsch, S. & Wurz, M. C., 2021, MikroSystemTechnik Kongress 2021: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte, Proceedings. VDE Verlag GmbH, S. 578-581 4 S. (MikroSystemTechnik Kongress 2021: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte, Proceedings).Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review
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Development of a Polyimid Membrane for Electromagnetic Middle-Ear Actuators
Glukhovskoy, A., Müller, E., Prediger, M. S., Maier, H. & Wurz, M. C., 2021, MikroSystemTechnik Kongress 2021: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte, Proceedings. VDE Verlag GmbH, S. 186-189 4 S. (MikroSystemTechnik Kongress 2021: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte, Proceedings).Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review
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Directly Deposited Thin-Film Strain Gauges on Curved Metallic Surfaces
Ottermann, R., Klaas, D., Dencker, F., Hoheisel, D., Jung, S., Wienke, A., Dusing, J. F., Koch, J. & Wurz, M. C., 2021, 2021 IEEE Sensors, SENSORS 2021 - Conference Proceedings. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., (Proceedings of IEEE Sensors; Band 2021-October).Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review
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Direktabgeschiedene Dünnfilm-Dehnungsmessstreifen für erhöhte Temperaturen
Ottermann, R., Klaas, D., Dencker, F. E., Hoheisel, D., Rottengatter, P., Kruspe, T., Jung, S. & Wurz, M., 2021, MikroSystemTechnik Kongress 2021: Proceedings. Berlin: VDE Verlag GmbH, S. 315-316 2 S.Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review
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Direktabgeschiedene Dünnfilmsensorik mithilfe einer neuartigen Beschichtungsanlage
Ottermann, R., Klaas, D., Dencker, F. E. & Wurz, M., 2021, 27. NDVaK-Kolloquium. DresdenPublikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung
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Fabrication of a Low Profile Planar Transformer Using a Dual PCB Approach
Fischer, E. C., Bierwirth, T. N., Dencker, F. & Wurz, M. C., 2021, MikroSystemTechnik Kongress 2021: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte, Proceedings. VDE Verlag GmbH, S. 483-486 4 S. (MikroSystemTechnik Kongress 2021: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte, Proceedings).Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung
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Film transfer from thin films to metal surfaces using sol-gels, self-assembling monolayers and water glass
Basten, R. G., Zawacka, A. M., Bengsch, S., Prediger, M. S. & Wurz, M. C., 2021, MikroSystemTechnik Kongress 2021: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte, Proceedings. VDE Verlag GmbH, S. 27-30 4 S.Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review
- Veröffentlicht
- Veröffentlicht
Investigations on Silver Sintering using an Ultrasonic Transient Liquid Phase Sintering Process
Hadeler, S., Seefisch, H., Ottermann, R., Long, Y., Dencker, F., Wurz, M. C. & Twiefel, J., 2021, 2021 IEEE 23rd Electronics Packaging Technology Conference (EPTC). Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., S. 288-291 4 S.Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review
- Veröffentlicht
Mikrotechnologische Fertigung von integrierten optischen Gittern mittels Lift-Off-Prozess für den Einsatz in Atominterferometern
de Wall, S., Kassner, A., Dencker, F., Künzler, C., Diekmann, L. & Würz, M. C., 2021, MikroSystemTechnik Kongress 2021: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte, Proceedings. VDE Verlag GmbH, S. 466-468 3 S. (MikroSystemTechnik Kongress 2021: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte, Proceedings).Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review
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Proof of Concept: Glass-Membrane Based Differential Pressure Sensor
Glukhovskoy, A., Prediger, M. S., Schäfer, J., Ambrosio, A., Ambrosius, N., Vogt, A., Santos, R., Ostholt, R. & Wurz, M., 2021, 2021 IEEE 71st Electronic Components and Technology Conference (ECTC). S. 1563-1570 8 S. (Proceedings - Electronic Components and Technology Conference; Band 2021-June).Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review
- Veröffentlicht
Simulationsgestützte Auslegung und Fertigung von piezoelektrischen Kraftsensor-Arrays zur Untersuchung des Ultraschall-Drahtbondprozesses
Arndt, M., Wurz, M. C., Dencker, F., Long, Y. & Twiefel, J., 2021, MikroSystemTechnik Kongress 2021: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte, Proceedings. VDE Verlag GmbH, S. 742-745 4 S. (MikroSystemTechnik Kongress 2021: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte, Proceedings).Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review
- 2020
- Veröffentlicht
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM BESTIMMEN EINER KONZENTRATION
WURZ, Marc, C. (Erfinder*in), Glukhovskoy, A. (Erfinder*in), Schnebeck, T. (Erfinder*in) & MAIER, Hans, J. (Erfinder*in), 9 Dez. 2020, IPC Nr. G01N 21/ 31 A I, Patent Nr. EP3746773, Prioritätsdatum 30 Jan. 2019, Prioritätsnr. WO2019EP52291Publikation: Schutzrecht/Patent › Patent
- Veröffentlicht
Verfahren zur Herstellung eines Formkörpers und Bauteil mit elektrischer Funktionalität
Maier, H. J. (Erfinder*in), Wurz, M. C. (Erfinder*in) & Bengsch, S. (Erfinder*in), 26 Nov. 2020, IPC Nr. H05K 3/ 00 A I, Patent Nr. DE102019113973, Prioritätsdatum 24 Mai 2019, Prioritätsnr. DE201910113973Publikation: Schutzrecht/Patent › Patent