Details
Originalsprache | Englisch |
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Titel des Sammelwerks | DVS-Berichte |
Erscheinungsort | Düsseldorf |
Band | 380 |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2022 |
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DVS-Berichte. Band 380 Düsseldorf, 2022.
Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung
}
TY - GEN
T1 - Yttria coatings as wear protection layer in the semiconductor industry
AU - Nicolaus, Martin
AU - Maier, Hans Jürgen
AU - Walther, Ralf
A2 - Dukat, Mareike
A2 - Möhwald, Kai
PY - 2022
Y1 - 2022
U2 - 10.31399/asm.cp.itsc2022p0939
DO - 10.31399/asm.cp.itsc2022p0939
M3 - Conference contribution
VL - 380
BT - DVS-Berichte
CY - Düsseldorf
ER -