Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Publikationsstatus | Veröffentlicht - 4 Juni 2023 |
| Veranstaltung | 2023 Optical Fabrication and Testing, OF&T 2023 - Quebec City, Kanada Dauer: 4 Juni 2023 → 8 Juni 2023 |
Konferenz
| Konferenz | 2023 Optical Fabrication and Testing, OF&T 2023 |
|---|---|
| Land/Gebiet | Kanada |
| Ort | Quebec City |
| Zeitraum | 4 Juni 2023 → 8 Juni 2023 |
Abstract
A low-cost and simple UV-LED-based projection lithography approach enabling micro- and nanostructuring in seconds and with subwavelength resolution is demonstrated in this work.
ASJC Scopus Sachgebiete
- Physik und Astronomie (insg.)
- Atom- und Molekularphysik sowie Optik
- Erdkunde und Planetologie (insg.)
- Astronomie und Planetologie
- Ingenieurwesen (insg.)
- Steuerungs- und Systemtechnik
- Ingenieurwesen (insg.)
- Elektrotechnik und Elektronik
- Physik und Astronomie (insg.)
- Instrumentierung
- Informatik (insg.)
- Allgemeine Computerwissenschaft
- Werkstoffwissenschaften (insg.)
- Elektronische, optische und magnetische Materialien
Zitieren
- Standard
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- RIS
2023. Beitrag in 2023 Optical Fabrication and Testing, OF&T 2023, Quebec City, Kanada.
Publikation: Konferenzbeitrag › Paper › Forschung › Peer-Review
}
TY - CONF
T1 - Rapid micro- and nanostructuring by UV-LED-based microscope projection lithography
AU - Zheng, Lei
AU - Reinhardt, Carsten
AU - Roth, Bernhard
N1 - Publisher Copyright: © 2023 The Author (s).
PY - 2023/6/4
Y1 - 2023/6/4
N2 - A low-cost and simple UV-LED-based projection lithography approach enabling micro- and nanostructuring in seconds and with subwavelength resolution is demonstrated in this work.
AB - A low-cost and simple UV-LED-based projection lithography approach enabling micro- and nanostructuring in seconds and with subwavelength resolution is demonstrated in this work.
UR - http://www.scopus.com/inward/record.url?scp=85193041874&partnerID=8YFLogxK
M3 - Paper
AN - SCOPUS:85193041874
T2 - 2023 Optical Fabrication and Testing, OF&T 2023
Y2 - 4 June 2023 through 8 June 2023
ER -