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Magnetron sputter deposition of Ta2O5-SiO2 quantized nanolaminates

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungPeer-Review

Autorschaft

  • S. Schwyn Thöny
  • M. Bärtschi
  • M. Batzer
  • M. Baselgia

Externe Organisationen

  • Evatec AG
  • RhySearch
  • Laser Zentrum Hannover e.V. (LZH)

Projekte

  1. PhoenixD: Exzellenzcluster 2122: Photonics, Optics, and Engineering – Innovation Across Disciplines

    Morgner, U. (Projektleiter*in (Principal Investigator)) & Overmeyer, L. (Leitende*r Forscher*in (Co-Principal Investigator))

    1 Jan. 201931 Dez. 2025

    Projekt: Forschung