Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Titel des Sammelwerks | Modern Surface Technology |
| Seiten | 31-50 |
| Seitenumfang | 20 |
| Publikationsstatus | Veröffentlicht - 28 Aug. 2006 |
ASJC Scopus Sachgebiete
- Ingenieurwesen (insg.)
- Allgemeiner Maschinenbau
Zitieren
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Modern Surface Technology. 2006. S. 31-50.
Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Beitrag in Buch/Sammelwerk › Forschung › Peer-Review
}
TY - CHAP
T1 - Fundamentals of Thin-film Technology
AU - Nicolaus, Martin
AU - Schäpers, Melanie
PY - 2006/8/28
Y1 - 2006/8/28
KW - Classification
KW - Coating configuration
KW - CVD - chemical vapour deposition
KW - Electrodeposition
KW - Electroless plating processes
KW - Gas-phase coating processes
KW - Modern surface technology
KW - Physical vapour deposition
KW - Plasma properties
KW - Thin-film coating processes
KW - Thin-film technology
UR - http://www.scopus.com/inward/record.url?scp=84889268221&partnerID=8YFLogxK
U2 - 10.1002/3527608818.ch3
DO - 10.1002/3527608818.ch3
M3 - Contribution to book/anthology
AN - SCOPUS:84889268221
SN - 3527315322
SN - 9783527315321
SP - 31
EP - 50
BT - Modern Surface Technology
ER -