Details
Originalsprache | Englisch |
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Aufsatznummer | 1366-1370 |
Fachzeitschrift | Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics Processing and Phenomena |
Jahrgang | 8 |
Ausgabenummer | 6 |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - Nov. 1990 |
Extern publiziert | Ja |
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in: Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics Processing and Phenomena, Jahrgang 8, Nr. 6, 1366-1370, 11.1990.
Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung
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TY - JOUR
T1 - Fabrication of coupled quantum dot arrays with a 100–150 nm period
AU - Lee, K. Y.
AU - Kern, D. P.
AU - Ismail, K.
AU - Haug, Rolf
AU - Smith, T. P.
AU - Masselink, W. T.
AU - Hong, J. M.
PY - 1990/11
Y1 - 1990/11
U2 - 10.1116/1.585079
DO - 10.1116/1.585079
M3 - Article
VL - 8
JO - Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics Processing and Phenomena
JF - Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics Processing and Phenomena
SN - 2166-2746
IS - 6
M1 - 1366-1370
ER -