Details
| Originalsprache | Deutsch |
|---|---|
| Band | 32 |
| Fachzeitschrift | phi – Produktionstechnik Hannover informiert |
| Publikationsstatus | Veröffentlicht - 23 Juli 2021 |
Abstract
Zitieren
- Standard
- Harvard
- Apa
- Vancouver
- BibTex
- RIS
in: phi – Produktionstechnik Hannover informiert, Jahrgang 32, 23.07.2021.
Publikation: Beitrag in nicht-wissenschaftlicher/populärwissenschaftlicher Zeitschrift/Zeitung › Beitrag in populärwissenschaftlicher Zeitung/Zeitschrift › Transfer
}
TY - GEN
T1 - Entwicklung eines piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnfilms
AU - Steinhoff, Lukas
PY - 2021/7/23
Y1 - 2021/7/23
N2 - Das Institut für Mikroproduktionstechnik (IMPT) arbeitet an einer Prozessfolge zur Abscheidung und Strukturierung eines Aluminiumnitrid-Dünnfilms, welcher aufgrund der piezoelektrischen Eigenschaften sowohl in Sensor- als auch Aktorsystemen Anwendung finden kann.
AB - Das Institut für Mikroproduktionstechnik (IMPT) arbeitet an einer Prozessfolge zur Abscheidung und Strukturierung eines Aluminiumnitrid-Dünnfilms, welcher aufgrund der piezoelektrischen Eigenschaften sowohl in Sensor- als auch Aktorsystemen Anwendung finden kann.
U2 - 10.48811/phi-21-011
DO - 10.48811/phi-21-011
M3 - Beitrag in populärwissenschaftlicher Zeitung/Zeitschrift
VL - 32
JO - phi – Produktionstechnik Hannover informiert
JF - phi – Produktionstechnik Hannover informiert
SN - 2198-1922
ER -