Entwicklung eines integrierten Sensor-Aktor-Systems zur Steigerung der Prozessqualität beim Ultraschall-Drahtbonden

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungPeer-Review

Autoren

  • M. Brökelmann
  • J. Wallaschek
  • H. Hesse

Externe Organisationen

  • Verein Deutscher Ingenieure (VDI)
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Details

OriginalspracheDeutsch
Seiten (von - bis)229-248
Seitenumfang20
FachzeitschriftVDI Berichte
Ausgabenummer1753
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2003
Extern publiziertJa

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Zitieren

Entwicklung eines integrierten Sensor-Aktor-Systems zur Steigerung der Prozessqualität beim Ultraschall-Drahtbonden. / Brökelmann, M.; Wallaschek, J.; Hesse, H.
in: VDI Berichte, Nr. 1753, 2003, S. 229-248.

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungPeer-Review

Brökelmann, M, Wallaschek, J & Hesse, H 2003, 'Entwicklung eines integrierten Sensor-Aktor-Systems zur Steigerung der Prozessqualität beim Ultraschall-Drahtbonden', VDI Berichte, Nr. 1753, S. 229-248.
Brökelmann, M., Wallaschek, J., & Hesse, H. (2003). Entwicklung eines integrierten Sensor-Aktor-Systems zur Steigerung der Prozessqualität beim Ultraschall-Drahtbonden. VDI Berichte, (1753), 229-248.
Brökelmann, M. ; Wallaschek, J. ; Hesse, H. / Entwicklung eines integrierten Sensor-Aktor-Systems zur Steigerung der Prozessqualität beim Ultraschall-Drahtbonden. in: VDI Berichte. 2003 ; Nr. 1753. S. 229-248.
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TY - JOUR

T1 - Entwicklung eines integrierten Sensor-Aktor-Systems zur Steigerung der Prozessqualität beim Ultraschall-Drahtbonden

AU - Brökelmann, M.

AU - Wallaschek, J.

AU - Hesse, H.

N1 - Copyright: Copyright 2013 Elsevier B.V., All rights reserved.

PY - 2003

Y1 - 2003

UR - http://www.scopus.com/inward/record.url?scp=4444249954&partnerID=8YFLogxK

M3 - Artikel

AN - SCOPUS:4444249954

SP - 229

EP - 248

JO - VDI Berichte

JF - VDI Berichte

SN - 0083-5560

IS - 1753

ER -