Enhanced stereo SEM measurement of sub-micrometer structures

Details

Originalsprache	Englisch
Titel des Sammelwerks	EOS Topical Meetings in Capri 2009
Untertitel	27-30 September 2009, Capri, Italy
Erscheinungsort	Hannover
Seitenumfang	3
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2009

Enhanced stereo SEM measurement of sub-micrometer structures. / Schultheis, T.; Vynnyk, T.; Fahlbusch, T. et al.
EOS Topical Meetings in Capri 2009: 27-30 September 2009, Capri, Italy. Hannover, 2009.

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung

Schultheis T, Vynnyk T, Fahlbusch T, Reithmeier E. Enhanced stereo SEM measurement of sub-micrometer structures. in EOS Topical Meetings in Capri 2009: 27-30 September 2009, Capri, Italy. Hannover. 2009

Schultheis, T. ; Vynnyk, T. ; Fahlbusch, T. et al. / Enhanced stereo SEM measurement of sub-micrometer structures. EOS Topical Meetings in Capri 2009: 27-30 September 2009, Capri, Italy. Hannover, 2009.

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TY - GEN

T1 - Enhanced stereo SEM measurement of sub-micrometer structures

AU - Schultheis, T.

AU - Vynnyk, T.

AU - Fahlbusch, T.

AU - Reithmeier, E.

PY - 2009

Y1 - 2009

M3 - Conference contribution

SN - 978-3-00-024191-8

BT - EOS Topical Meetings in Capri 2009

CY - Hannover

ER -