Loading [MathJax]/extensions/tex2jax.js

Enabling rotary Atomic Layer Deposition for optical applications

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review

Autorschaft

  • Leif Kochanneck
  • Andreas Tewes
  • Gerd Albert Hoffmann
  • Kalle Niiranen
  • Detlev Ristau

Organisationseinheiten

Externe Organisationen

  • Laser Zentrum Hannover e.V. (LZH)
  • Beneq Oy
1 - 1 von 1Seitengröße: 20
Reihenfolge:

Publikationen

  1. 2023

  2. Veröffentlicht

    Enabling rotary atomic layer deposition for optical applications

    Kochanneck, L., Rönn, J., Tewes, A., Hoffmann, G. A., Virtanen, S., Maydannik, P., Sneck, S., Wienke, A. & Ristau, D., 17 Apr. 2023, in: Applied optics. 62, 12, S. 3112-3117 6 S.

    Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Peer-Review