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Enabling rotary Atomic Layer Deposition for optical applications

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review

Autorschaft

  • Leif Kochanneck
  • Andreas Tewes
  • Gerd Albert Hoffmann
  • Kalle Niiranen
  • Detlev Ristau

Organisationseinheiten

Externe Organisationen

  • Laser Zentrum Hannover e.V. (LZH)
  • Beneq Oy
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Projekte

  1. PhoenixD: Exzellenzcluster 2122: Photonics, Optics, and Engineering – Innovation Across Disciplines

    Morgner, U. (Projektleiter*in (Principal Investigator)) & Overmeyer, L. (Leitende*r Forscher*in (Co-Principal Investigator))

    1 Jan. 2019 → 31 Dez. 2025

    Projekt: Forschung