Einrichtung und Erzeugung von UV-Strahlung, insbesondere EUV-Strahlung

Publikation: Schutzrecht/Patent › Patent

Erfinder/-innen

  • Boris Chichkov (Erfinder*in)
  • Stefan Becker (Erfinder*in)
  • Eberhard Neuser (Erfinder*in)
  • Helmut Appelt (Erfinder*in)
  • Andre Egbert (Erfinder*in)

Organisationseinheiten

Externe Organisationen

  • Laser Zentrum Hannover e.V. (LZH)
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Details

Titel in ÜbersetzungDevice and method for generating UV radiation, in particular EUV radiation
OriginalspracheDeutsch
Veröffentlichungsnummer (amtliches Aktenzeichen)DE20213975U1
IPCH01J35/00
Prioritätsdatum6 Sept. 2002
Anmeldedatum6 Sept. 2002
PublikationsstatusVeröffentlicht - 19 Dez. 2002

Zitieren

Einrichtung und Erzeugung von UV-Strahlung, insbesondere EUV-Strahlung. / Chichkov, Boris (Erfinder*in); Becker, Stefan (Erfinder*in); Neuser, Eberhard (Erfinder*in) et al.
Patent Nr.: DE20213975U1. Dez. 19, 2002.

Publikation: Schutzrecht/Patent › Patent

Chichkov, B, Becker, S, Neuser, E, Appelt, H & Egbert, A Dez.. 19 2002, Einrichtung und Erzeugung von UV-Strahlung, insbesondere EUV-Strahlung, Patent Nr. DE20213975U1. <https://worldwide.espacenet.com/patent/search?q=pn%3DDE20213975U1>
Chichkov, B., Becker, S., Neuser, E., Appelt, H., & Egbert, A. (2002). Einrichtung und Erzeugung von UV-Strahlung, insbesondere EUV-Strahlung. (Patent Nr. DE20213975U1). https://worldwide.espacenet.com/patent/search?q=pn%3DDE20213975U1
Chichkov B, Becker S, Neuser E, Appelt H, Egbert A, Erfinder/-innen. Einrichtung und Erzeugung von UV-Strahlung, insbesondere EUV-Strahlung. DE20213975U1. 2002 Dez 19.
Chichkov, Boris (Erfinder*in) ; Becker, Stefan (Erfinder*in) ; Neuser, Eberhard (Erfinder*in) et al. / Einrichtung und Erzeugung von UV-Strahlung, insbesondere EUV-Strahlung. Patent Nr.: DE20213975U1. Dez. 19, 2002.
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TY - PAT

T1 - Einrichtung und Erzeugung von UV-Strahlung, insbesondere EUV-Strahlung

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AU - Becker, Stefan

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AU - Egbert, Andre

N1 - Außerdem veröffentlicht als: AU2003271762A1; WO2004023512A1

PY - 2002/12/19

Y1 - 2002/12/19

M3 - Patent

M1 - DE20213975U1

Y2 - 2002/09/06

ER -