Details
| Titel in Übersetzung | Dynamic autofocussensor for measuring threedimensional microstructures |
|---|---|
| Originalsprache | Deutsch |
| Seiten (von - bis) | 3-9 |
| Seitenumfang | 7 |
| Fachzeitschrift | Technisches Messen |
| Jahrgang | 59 |
| Ausgabenummer | 1 |
| Publikationsstatus | Veröffentlicht - 1 Jan. 1992 |
| Extern publiziert | Ja |
Abstract
In der Mikromechanik und Mikroelektronik müssen plana-re Strukturen vermessen werden. Solche Strukturen weisen häufig steile Flanken auf. Neben der Strukturhöhe sind die Strukturbreite und die Steilheit der Flanken wesentliche Meßgrößen. Dafür wird ein geeignetes Sensorsystem entwickelt. Es hat sich gezeigt, daß zweckmäßigerweise ein marktüblicher dynamischer Autofokussensor genutzt werden kann, um eine Meßachse darzustellen. Dazu sind nun zwei weitere, eine lineare und eine rotatorische Meßachse realisiert und die Meß- und Auswertestrategien für das Zusammenwirken des Autofokussystems und der beiden Zusatzachsen entwickelt worden.
Schlagwörter
- Autofokussensor Mikrostrukturen Lasermeß, technik 3D-Geometrieerfassung
ASJC Scopus Sachgebiete
- Physik und Astronomie (insg.)
- Instrumentierung
- Ingenieurwesen (insg.)
- Elektrotechnik und Elektronik
Zitieren
- Standard
- Harvard
- Apa
- Vancouver
- BibTex
- RIS
in: Technisches Messen, Jahrgang 59, Nr. 1, 01.01.1992, S. 3-9.
Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Peer-Review
}
TY - JOUR
T1 - Dynamischer Autofokussensor zur dreidimensionalen Mikrostrukturerfassung
AU - Overmeyer, Ludger
AU - Dickmann, K.
PY - 1992/1/1
Y1 - 1992/1/1
N2 - In der Mikromechanik und Mikroelektronik müssen plana-re Strukturen vermessen werden. Solche Strukturen weisen häufig steile Flanken auf. Neben der Strukturhöhe sind die Strukturbreite und die Steilheit der Flanken wesentliche Meßgrößen. Dafür wird ein geeignetes Sensorsystem entwickelt. Es hat sich gezeigt, daß zweckmäßigerweise ein marktüblicher dynamischer Autofokussensor genutzt werden kann, um eine Meßachse darzustellen. Dazu sind nun zwei weitere, eine lineare und eine rotatorische Meßachse realisiert und die Meß- und Auswertestrategien für das Zusammenwirken des Autofokussystems und der beiden Zusatzachsen entwickelt worden.
AB - In der Mikromechanik und Mikroelektronik müssen plana-re Strukturen vermessen werden. Solche Strukturen weisen häufig steile Flanken auf. Neben der Strukturhöhe sind die Strukturbreite und die Steilheit der Flanken wesentliche Meßgrößen. Dafür wird ein geeignetes Sensorsystem entwickelt. Es hat sich gezeigt, daß zweckmäßigerweise ein marktüblicher dynamischer Autofokussensor genutzt werden kann, um eine Meßachse darzustellen. Dazu sind nun zwei weitere, eine lineare und eine rotatorische Meßachse realisiert und die Meß- und Auswertestrategien für das Zusammenwirken des Autofokussystems und der beiden Zusatzachsen entwickelt worden.
KW - Autofokussensor Mikrostrukturen Lasermeß
KW - technik 3D-Geometrieerfassung
UR - http://www.scopus.com/inward/record.url?scp=0026723172&partnerID=8YFLogxK
U2 - 10.1524/teme.1992.59.1.3
DO - 10.1524/teme.1992.59.1.3
M3 - Artikel
AN - SCOPUS:0026723172
VL - 59
SP - 3
EP - 9
JO - Technisches Messen
JF - Technisches Messen
SN - 0171-8096
IS - 1
ER -