Bewertung von Weißlichtinterferometermessungen mit einer Kantenteststruktur

Details

Originalsprache	Deutsch
Titel des Sammelwerks	108. Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für angewandte Optik (DGaO)
Untertitel	29.5.-2.6.2007, Heringdorf
Seitenumfang	2
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2007
Veranstaltung	108. Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für angewandte Optik (DGaO) - Heringdorf, Heringdorf, Deutschland Dauer: 29 Mai 2007 → 2 Juni 2007 Konferenznummer: 108

Name	DGaO-Proceedings
ISSN (Print)	1614-8436

Bewertung von Weißlichtinterferometermessungen mit einer Kantenteststruktur. / Rahlves, Maik; Seifert, Mario; Fahlbusch, Thomas et al.
108. Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für angewandte Optik (DGaO): 29.5.-2.6.2007, Heringdorf. 2007. (DGaO-Proceedings).

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung

Rahlves, M, Seifert, M, Fahlbusch, T, Frühauf, J & Reithmeier, E 2007, Bewertung von Weißlichtinterferometermessungen mit einer Kantenteststruktur. in 108. Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für angewandte Optik (DGaO): 29.5.-2.6.2007, Heringdorf. DGaO-Proceedings, 108. Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für angewandte Optik (DGaO), Heringdorf, Deutschland, 29 Mai 2007. <https://www.imr.uni-hannover.de/index.php?eID=tx_securedownloads&p=89&u=0&g=0&t=1605597260&hash=25b617a8dfe11f9c29649648ffba24d81e75f734&file=/uploads/tx_tkpublikationen/DGaO07-IMR_Hannover.pdf>

Rahlves M, Seifert M, Fahlbusch T, Frühauf J, Reithmeier E. Bewertung von Weißlichtinterferometermessungen mit einer Kantenteststruktur. in 108. Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für angewandte Optik (DGaO): 29.5.-2.6.2007, Heringdorf. 2007. (DGaO-Proceedings).

Rahlves, Maik ; Seifert, Mario ; Fahlbusch, Thomas et al. / Bewertung von Weißlichtinterferometermessungen mit einer Kantenteststruktur. 108. Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für angewandte Optik (DGaO): 29.5.-2.6.2007, Heringdorf. 2007. (DGaO-Proceedings).

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TY - GEN

T1 - Bewertung von Weißlichtinterferometermessungen mit einer Kantenteststruktur

AU - Rahlves, Maik

AU - Seifert, Mario

AU - Fahlbusch, Thomas

AU - Frühauf, Joachim

AU - Reithmeier, Eduard

N1 - Conference code: 108

PY - 2007

Y1 - 2007

M3 - Aufsatz in Konferenzband

T3 - DGaO-Proceedings

BT - 108. Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für angewandte Optik (DGaO)

T2 - 108. Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für angewandte Optik (DGaO)

Y2 - 29 May 2007 through 2 June 2007

ER -