Details
| Titel in Übersetzung | Anodic dissolution of aluminium as downsizing technique for micro-inductors |
|---|---|
| Originalsprache | Deutsch |
| Titel des Sammelwerks | MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings |
| Herausgeber (Verlag) | VDE Verlag GmbH |
| Seiten | 624-627 |
| Seitenumfang | 4 |
| ISBN (elektronisch) | 9783800744916 |
| Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2017 |
| Veranstaltung | MikroSystemTechnik Kongress 2017: MEMS, Mikroelektronik, Systeme - München, Deutschland Dauer: 23 Okt. 2017 → 25 Okt. 2017 |
Publikationsreihe
| Name | MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings |
|---|
Abstract
Into this paper a new approach to miniaturize passive components especially micro-inductors is presented. The main extension of process flow is the anodic dissolution of aluminium at a sodiumchloride solution. As example to show the technological innovation a micro-inductors is choosen. The technique allowed a reduction of the volume from 2.8 mm3 to 0.45 mm3.
ASJC Scopus Sachgebiete
- Ingenieurwesen (insg.)
- Elektrotechnik und Elektronik
- Werkstoffwissenschaften (insg.)
- Elektronische, optische und magnetische Materialien
- Werkstoffwissenschaften (insg.)
- Oberflächen, Beschichtungen und Folien
- Physik und Astronomie (insg.)
- Physik der kondensierten Materie
- Physik und Astronomie (insg.)
- Atom- und Molekularphysik sowie Optik
Zitieren
- Standard
- Harvard
- Apa
- Vancouver
- BibTex
- RIS
MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings. VDE Verlag GmbH, 2017. S. 624-627 (MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings).
Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review
}
TY - GEN
T1 - Anodische auflösung von aluminium als downsizing technik für mikro-induktivitäten
AU - Beringer, Sebastian
AU - Dinulovic, Dragan
AU - Bengsch, Sebastian
AU - Haug, Martin
AU - Wurz, Marc Christopher
N1 - Publisher Copyright: © VDE VERLAG GMBH ∙ Berlin ∙ Offenbach Copyright: Copyright 2020 Elsevier B.V., All rights reserved.
PY - 2017
Y1 - 2017
N2 - Into this paper a new approach to miniaturize passive components especially micro-inductors is presented. The main extension of process flow is the anodic dissolution of aluminium at a sodiumchloride solution. As example to show the technological innovation a micro-inductors is choosen. The technique allowed a reduction of the volume from 2.8 mm3 to 0.45 mm3.
AB - Into this paper a new approach to miniaturize passive components especially micro-inductors is presented. The main extension of process flow is the anodic dissolution of aluminium at a sodiumchloride solution. As example to show the technological innovation a micro-inductors is choosen. The technique allowed a reduction of the volume from 2.8 mm3 to 0.45 mm3.
UR - http://www.scopus.com/inward/record.url?scp=85096755624&partnerID=8YFLogxK
M3 - Aufsatz in Konferenzband
AN - SCOPUS:85096755624
T3 - MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings
SP - 624
EP - 627
BT - MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings
PB - VDE Verlag GmbH
T2 - MikroSystemTechnik Kongress 2017: MEMS, Mikroelektronik, Systeme
Y2 - 23 October 2017 through 25 October 2017
ER -