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Equipment
Reaktive Ionenätzanlage RIE (Cl und F)
Ding, F. (Leitung) & Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und QuantenengineeringAusstattung/Einrichtung: Großgerät
Reactive ion etching
Projekt: Forschung
Mitwirkende
- Fei Ding (Projektleiter*in (Principal Investigator))