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Electron beam lithography

Projekt: Forschung

Mitwirkende

Fei Ding (Projektleiter*in (Principal Investigator))

Organisationseinheiten

Institut für Festkörperphysik

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Equipment

Elektronenstrahllithographie-Rasterelektronenmikroskop-Hybridsystem (ESL-REM)
Ding, F. (Leitung) & Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und Quantenengineering
Ausstattung/Einrichtung: Großgerät