Details
| Status | Abgeschlossen |
|---|---|
| Beginn/Ende | 26 Nov. 2019 → 30 Juni 2021 |
!!Funding
Mittelherkunft
Förderprogramm/-linie
- Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG)
- Verbundprojektanträge von Organisationen
- Infrastruktur: Forschungsgroßgeräte
Electron beam lithography
Projekt: Forschung
Mitwirkende
- Fei Ding (Projektleiter/in (Principal Investigator))