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Equipment

1. Mask-Aligner Süss MA 6

   Kerker, O. (Gerätemanagement)

   Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

   Ausstattung/Einrichtung: Gerät

2. Mask-Aligner Süss MA 150

   Kerker, O. (Gerätemanagement)

   Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

   Ausstattung/Einrichtung: Gerät

3. Lackschleuder mit Heizplatte Süss Labspin 6

   Kerker, O. (Gerätemanagement)

   Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

   Ausstattung/Einrichtung: Gerät

4. Lithografie, UV Kontakt und Proximity-Aligner Verbindungshalbleiter

   Kerker, O. (Gerätemanagement)

   Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

   Ausstattung/Einrichtung: Gerät

5. Plasma Asher TePla 100 und GIGAbatch 360M

   Kerker, O. (Gerätemanagement)

   Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

   Ausstattung/Einrichtung: Gerät

6. HMDS-Hotplate Süss VP8 T/BM

   Kerker, O. (Gerätemanagement)

   Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

   Ausstattung/Einrichtung: Gerät

7. Spraycoater Süss AS8

   Kerker, O. (Gerätemanagement)

   Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

   Ausstattung/Einrichtung: Gerät

8. Lackschleuder mit Heizplatte Süss Delta 80, HP8TT

   Kerker, O. (Gerätemanagement)

   Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

   Ausstattung/Einrichtung: Gerät

9. Lithografie, UV Kontakt und Proximity-Aligner Elementhalbleiter

   Kerker, O. (Gerätemanagement)

   Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

   Ausstattung/Einrichtung: Gerät

10. Antriebseinheit für einen druckaufgeladenen Hochgeschwindigkeitsaxialverdichter

    Seume, J. R. (Leitung)

    Institut für Turbomaschinen und Fluid-Dynamik

    Ausstattung/Einrichtung: Großgerät

11. DC-Stromversorgung

    Ponick, B. (Leitung)

    Institut für Antriebssysteme und Leistungselektronik

    Ausstattung/Einrichtung: Großgerät

12. Zeit und Frequenz synchronisierte Langstrecken-Quantenkommunikation (InterSync)

    Ding, F. (Leitung)

    Institut für Festkörperphysik

    Ausstattung/Einrichtung: Großgerät

13. Hochpräzises und multifunktionales Druck- und Beschichtungssystem

    Overmeyer, L. (Leitung)

    Institut für Transport- und Automatisierungstechnik

    Ausstattung/Einrichtung: Großgerät

14. 5-Achs Präzisionsfräszentrum

    Denkena, B. (Leitung)

    Institut für Fertigungstechnik und Werkzeugmaschinen

    Ausstattung/Einrichtung: Großgerät

15. NMR-Spektrometer (400 MHZ) für Messungen in flüssiger Phase

    Polarz, S. (Leitung)

    Institut für Anorganische Chemie

    Ausstattung/Einrichtung: Großgerät

16. Kryo-Rasterelektronenmikroskop

    Endres, H. (Leitung) & Bittner, F. (Leitung)

    Institut für Kunststoff- und Kreislauftechnik

    Ausstattung/Einrichtung: Großgerät

17. Mikromechanischer Messplatz

    Haist, M. (Leitung)

    Institut für Baustoffe

    Ausstattung/Einrichtung: Großgerät

18. Präzisionsoptik Assemblierungsanlage

    Ristau, D. (Leitung)

    Institut für Quantenoptik

    Ausstattung/Einrichtung: Großgerät

19. Messplatz Oberflächenspektroskopie

    Haist, M. (Leitung)

    Institut für Baustoffe

    Ausstattung/Einrichtung: Großgerät

20. Kombiniertes System zur Fertigung und Vermessung von Prüfstands- und Instrumentierungskomponenten

    Seume, J. R. (Leitung)

    Institut für Turbomaschinen und Fluid-Dynamik

    Ausstattung/Einrichtung: Großgerät

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