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Equipment

1. Nassbänke Reinigung und Strukturierung

   Kerker, O. (Gerätemanagement)

   Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

   Ausstattung/Einrichtung: Gerät

2. Mask-Aligner Süss MA 6

   Kerker, O. (Gerätemanagement)

   Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

   Ausstattung/Einrichtung: Gerät

3. Mask-Aligner Süss MA 150

   Kerker, O. (Gerätemanagement)

   Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

   Ausstattung/Einrichtung: Gerät

4. Lackschleuder mit Heizplatte Süss Labspin 6

   Kerker, O. (Gerätemanagement)

   Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

   Ausstattung/Einrichtung: Gerät

5. Lithografie, UV Kontakt und Proximity-Aligner Verbindungshalbleiter

   Kerker, O. (Gerätemanagement)

   Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

   Ausstattung/Einrichtung: Gerät

6. Plasma Asher TePla 100 und GIGAbatch 360M

   Kerker, O. (Gerätemanagement)

   Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

   Ausstattung/Einrichtung: Gerät

7. HMDS-Hotplate Süss VP8 T/BM

   Kerker, O. (Gerätemanagement)

   Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

   Ausstattung/Einrichtung: Gerät

8. Spraycoater Süss AS8

   Kerker, O. (Gerätemanagement)

   Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

   Ausstattung/Einrichtung: Gerät

9. Lackschleuder mit Heizplatte Süss Delta 80, HP8TT

   Kerker, O. (Gerätemanagement)

   Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

   Ausstattung/Einrichtung: Gerät

10. Lithografie, UV Kontakt und Proximity-Aligner Elementhalbleiter

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

11. Laser Nanofabrication System

    Roth, B. W. (Leitung)

    Hannoversches Zentrum für Optische Technologien (HOT)

    Ausstattung/Einrichtung: Großgerät

12. Nanoimprint-Lithographiesystem

    Roth, B. W. (Leitung)

    Hannoversches Zentrum für Optische Technologien (HOT)

    Ausstattung/Einrichtung: Großgerät

13. Optisches Metrologiesystem

    Roth, B. W. (Leitung)

    Hannoversches Zentrum für Optische Technologien (HOT)

    Ausstattung/Einrichtung: Großgerät

14. Vertikalofensystem

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

15. Neuer Ansatz für eine optische Biopsie in der Melanomdiagnostik

    Roth, B. W. (Leitung)

    Hannoversches Zentrum für Optische Technologien (HOT)

    Ausstattung/Einrichtung: Großgerät

16. Laboratorium für Nano- und Quantenengineering (LNQE)

    Schulze-Wischeler, F. (Geschäftsführung) & Kerker, O. (Technische Leitung)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Forschungsbau

17. Elektronenstrahllithographie-Rasterelektronenmikroskop-Hybridsystem (ESL-REM)

    Ding, F. (Leitung) & Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Großgerät

18. Reaktive Ionenätzanlage RIE (Cl und F)

    Ding, F. (Leitung) & Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Großgerät

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