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Equipment

1. Transmissionselektronenmikroskop TEM FEI Tecnai G2 F20 TMP

   Schulze-Wischeler, F. (Leitung)

   Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

   Ausstattung/Einrichtung: Gerät

2. Rasterkraftmikroskop (Nanosurf CoreAFM)

   Kerker, O. (Gerätemanagement)

   Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

   Ausstattung/Einrichtung: Gerät

3. Konfokalmikroskop Leica DCM 3D

   Kerker, O. (Gerätemanagement)

   Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

   Ausstattung/Einrichtung: Gerät

4. Vierspitzenmessplatz

   Kerker, O. (Gerätemanagement)

   Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

   Ausstattung/Einrichtung: Gerät

5. Wafer-Probe-Station Cascade Summit 11000

   Kerker, O. (Gerätemanagement)

   Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

   Ausstattung/Einrichtung: Gerät

6. Spektrales Ellipsometer Sentech SE 800

   Kerker, O. (Gerätemanagement)

   Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

   Ausstattung/Einrichtung: Gerät

7. Drahtbonder, Wire-Bonder TPT HB16

   Kerker, O. (Gerätemanagement)

   Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

   Ausstattung/Einrichtung: Gerät

8. 3D-Druck von Glassubstraten, LightFab 3D Printer M mit IR-Laser 1030 nm

   Stupp, J. (Leitung) & Kerker, O. (Gerätemanagement)

   Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

   Ausstattung/Einrichtung: Gerät

9. Polyimid-Ofen

   Kerker, O. (Gerätemanagement)

   Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

   Ausstattung/Einrichtung: Gerät

10. Schnellheizöfen (RTP/RTO/RTA)

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

11. Widerstandsverdampfer "Congo Vac"

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

12. Kathodenzerstäubungsanlage (Sputteranlage) Leybold Z590

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

13. Elektronenstrahlverdampfer Balzers BAK 610

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

14. Plasma CVD Oxford Plasmalab 90

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

15. Horizontal-Clustersystem (Ofen)

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

16. Ionenimplanter Varian VIISta HCS

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

17. Reaktive Ionenätzanlage RIE (SF6 und CHF3)

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

18. Rasterelektronenmikroskop mit e-Beam Lithografie

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

19. Semitool Spin Rinser Dryer

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

20. Nassbänke Reinigung und Strukturierung

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

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