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Laboratorium für Nano- und Quantenengineering (LNQE)

Organisation: Leibniz Forschungszentrum

Adressentyp: Besucheradresse.
Schneiderberg 39
30167
Hannover
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Equipment

  1. Semitool Spin Rinser Dryer

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  2. Nassbänke Reinigung und Strukturierung

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  3. Mask-Aligner Süss MA 6

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  4. Mask-Aligner Süss MA 150

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  5. Lackschleuder mit Heizplatte Süss Labspin 6

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  6. Lithografie, UV Kontakt und Proximity-Aligner Verbindungshalbleiter

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  7. Plasma Asher TePla 100 und GIGAbatch 360M

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  8. HMDS-Hotplate Süss VP8 T/BM

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  9. Spraycoater Süss AS8

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  10. Lackschleuder mit Heizplatte Süss Delta 80, HP8TT

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  11. Lithografie, UV Kontakt und Proximity-Aligner Elementhalbleiter

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  12. Vertikalofensystem

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  13. Laboratorium für Nano- und Quantenengineering (LNQE)

    Schulze-Wischeler, F. (Geschäftsführung) & Kerker, O. (Technische Leitung)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Forschungsbau

  14. Elektronenstrahllithographie-Rasterelektronenmikroskop-Hybridsystem (ESL-REM)

    Ding, F. (Leitung) & Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Großgerät

  15. Reaktive Ionenätzanlage RIE (Cl und F)

    Ding, F. (Leitung) & Kerker, O. (Gerätemanagement)

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    Ausstattung/Einrichtung: Großgerät

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