Equipment
Rasterkraftmikroskop (Nanosurf CoreAFM)
Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und QuantenengineeringAusstattung/Einrichtung: Gerät
Konfokalmikroskop Leica DCM 3D
Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und QuantenengineeringAusstattung/Einrichtung: Gerät
Vierspitzenmessplatz
Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und QuantenengineeringAusstattung/Einrichtung: Gerät
Wafer-Probe-Station Cascade Summit 11000
Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und QuantenengineeringAusstattung/Einrichtung: Gerät
Spektrales Ellipsometer Sentech SE 800
Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und QuantenengineeringAusstattung/Einrichtung: Gerät
Drahtbonder, Wire-Bonder TPT HB16
Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und QuantenengineeringAusstattung/Einrichtung: Gerät
3D-Druck von Glassubstraten, LightFab 3D Printer M mit IR-Laser 1030 nm
Stupp, J. (Leitung) & Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und QuantenengineeringAusstattung/Einrichtung: Gerät
Polyimid-Ofen
Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und QuantenengineeringAusstattung/Einrichtung: Gerät
Schnellheizöfen (RTP/RTO/RTA)
Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und QuantenengineeringAusstattung/Einrichtung: Gerät
Widerstandsverdampfer "Congo Vac"
Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und QuantenengineeringAusstattung/Einrichtung: Gerät
Kathodenzerstäubungsanlage (Sputteranlage) Leybold Z590
Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und QuantenengineeringAusstattung/Einrichtung: Gerät
Elektronenstrahlverdampfer Balzers BAK 610
Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und QuantenengineeringAusstattung/Einrichtung: Gerät
Plasma CVD Oxford Plasmalab 90
Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und QuantenengineeringAusstattung/Einrichtung: Gerät
Horizontal-Clustersystem (Ofen)
Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und QuantenengineeringAusstattung/Einrichtung: Gerät
Ionenimplanter Varian VIISta HCS
Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und QuantenengineeringAusstattung/Einrichtung: Gerät
Reaktive Ionenätzanlage RIE (SF6 und CHF3)
Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und QuantenengineeringAusstattung/Einrichtung: Gerät
Rasterelektronenmikroskop mit e-Beam Lithografie
Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und QuantenengineeringAusstattung/Einrichtung: Gerät