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Institut für Mikroproduktionstechnik

Organisation: Institut/Seminar

Adressentyp: Besucheradresse.
An der Universität 2
30823
Garbsen
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Publikationen

  1. 2017
  2. Veröffentlicht

    Pulsed electron source for atmospheric pressure chemical ionization in ion mobility spectrometry

    Bunert, E., Heptner, A., Kirk, A. T., Käbein, O., Zimmermann, S., Kusch, A. & Wurz, M. C., 2017, 2017 30th International Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC). Langer, C. & Lawrowski, R. (Hrsg.). Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., S. 102-103 2 S. 8051563. (International Vacuum Nanoelectronics Conference).

    Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/KonferenzbandAufsatz in KonferenzbandForschungPeer-Review

  3. Veröffentlicht

    Reaktives Ionentiefenätzen von Schattenmasken für die Sensordirektabscheidung mit einer neuartigen Beschichtungsanlage

    Klaas, D., Pehrs, F. & Wurz, M. C., 2017, MikroSystemTechnik Kongress 2017: Proceedings. Berlin: VDE Verlag GmbH, S. 680-683 4 S.

    Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/KonferenzbandAufsatz in KonferenzbandForschung

  4. Veröffentlicht

    Silicon field emitter arrays produced via wafer dicing

    Kusch, A., Wurz, M., Bunert, E. & Zimmermann, S., 2017, 2017 30th International Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC). Langer, C. & Lawrowski, R. (Hrsg.). Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., S. 132-133 2 S. 8051577. (International Vacuum Nanoelectronics Conference).

    Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/KonferenzbandAufsatz in KonferenzbandForschungPeer-Review

  5. Veröffentlicht

    Technical inheritance: Information basis for the identification and development of product generations

    Mozgova, I., Barton, S., Demminger, C., Miebach, T., Taptimthong, P., Lachmayer, R., Nyhuis, P., Reimche, W. & Wurz, M. C., 2017, in: Proceedings of the International Conference on Engineering Design, ICED. 6, DS87-6, S. 91-100 10 S.

    Publikation: Beitrag in FachzeitschriftKonferenzaufsatz in FachzeitschriftForschungPeer-Review

  6. 2016
  7. Veröffentlicht

    Comparison of ALD and IBS Al2O3 films for high power lasers

    Liu, H., Jensen, L., Becker, J., Wurz, M. C., Ma, P. & Ristau, D., 6 Dez. 2016, 48th Annual Laser Damage Symposium Proceedings - Laser-Induced Damage in Optical Materials 2016. SPIE, 1001421. (Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering; Band 10014).

    Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/KonferenzbandAufsatz in KonferenzbandForschungPeer-Review

  8. Veröffentlicht

    Longitudinal conductivity of LaF3/SrF2 multilayer heterostructures

    Vergentev, T., Banshchikov, A., Filimonov, A., Koroleva, E., Sokolov, N. & Wurz, M. C., 25 Nov. 2016, in: Science and Technology of Advanced Materials. 17, 1, S. 799-806 8 S.

    Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungPeer-Review

  9. Veröffentlicht

    Packaging for systems in harsh environments

    Wurz, M. C. & Bengsch, S., 25 Nov. 2016, Semiconductor Devices in Harsh Conditions. S. 135-147 13 S.

    Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/KonferenzbandBeitrag in Buch/SammelwerkForschungPeer-Review

  10. Veröffentlicht

    Development of a Humidity Sensor Element Based on Sputter-deposited thin ZnO-Layers

    Klaas, D., Rein, M., Wurz, M. & Rissing, L., 1 Okt. 2016, in: Procedia Technology. 26, S. 27-34

    Publikation: Beitrag in FachzeitschriftKonferenzaufsatz in FachzeitschriftForschung

  11. Veröffentlicht

    Flexible Magnetic Reading/Writing System: Heat-assisted Magnetic Recording

    Taptimthong, P., Düsing, J. F., Rissing, L. & Wurz, M. C., 1 Okt. 2016, in: Procedia Technology. 26, S. 72-78

    Publikation: Beitrag in FachzeitschriftKonferenzaufsatz in FachzeitschriftForschung

  12. Veröffentlicht

    Stress Reduction in Sputtered Thin NiFe 81/19 Layers for Magnetic Field Sensors

    Jogschies, L., Rittinger, J., Klaas, D. & Wurz, M., 1 Okt. 2016, in: Procedia Technology. 26, S. 162-168

    Publikation: Beitrag in FachzeitschriftKonferenzaufsatz in FachzeitschriftForschung

  13. Veröffentlicht

    Intracochlear Stimulation of the Basilar Membrane

    van Drunen, W. J., Hofmann, V., Twiefel, J., Glukhovskoy, A., Beringer, S., Wurz, M. C., Rau, T. S., Wallaschek, J., Rissing, L., Lenarz, T. & Majdani, O., 28 Sept. 2016, in: Biomedizinische Technik. 61, s1, S. 179-199 21 S.

    Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungPeer-Review

  14. Veröffentlicht

    Direct hot embossing of microelements by means of photostructurable polyimide

    Akin, M., Rezem, M., Rahlves, M., Cromwell, K., Roth, B., Reithmeier, E., Wurz, M. C., Rissing, L. & Maier, H. J., 23 Aug. 2016, in: Journal of Micro/ Nanolithography, MEMS, and MOEMS. 15, 3, 034506.

    Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungPeer-Review

  15. Veröffentlicht

    Effect of Substrate Temperature on Magnetic Properties of Electroplated 82Ni-15Fe-3W Alloy Films

    Mundotiya, B. M., Rissing, L. & Wurz, M. C., Aug. 2016, in: IEEE Transactions on Magnetics. 52, 8, 7448397.

    Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungPeer-Review

  16. Veröffentlicht

    Magnetic microstructure analysis of sputter deposited permalloy thin films on a spin-on polyimide substrate

    Rittinger, J., Taptimthong, P., Jogschies, L., Wurz, M. C. & Rissing, L., Juli 2016, in: Microsystem Technologies. 22, 7, S. 1627-1632 6 S.

    Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungPeer-Review

  17. Veröffentlicht

    Manufacturing of micro end mills by batch processing of silicon carbide

    Denkena, B., Wurz, M., Grove, T., Bouabid, A. & Asadi, E., 1 Juni 2016, Proceedings of the 16th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, EUSPEN 2016. Bointon, P., Leach, R. & Southon, N. (Hrsg.). (Proceedings of the 16th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, EUSPEN 2016).

    Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/KonferenzbandAufsatz in KonferenzbandForschungPeer-Review

  18. Veröffentlicht

    Normal force actuator for a tactile display using a micromechanically built spring element made of Polyimide

    Wurz, M., Rechel, M., Twiefel, J. & Hofmann, V., 1 Juni 2016, ACTUATOR 2016. 4 S.

    Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/KonferenzbandAufsatz in KonferenzbandForschung

  19. Veröffentlicht

    An application report: Protective thin film layers for high temperature sensor technology

    Dencker, F., Wurz, M., Dubrovskiy, S. & Koroleva, E., 5 Apr. 2016, Proceedings of the 2016 IEEE North West Russia Section Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering Conference, EIConRusNW 2016. Shaposhnikov, S. (Hrsg.). Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., S. 32-36 5 S. 7448110

    Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/KonferenzbandAufsatz in KonferenzbandForschungPeer-Review

  20. Veröffentlicht

    Transmission laser bonding of low melting eutectic alloys

    Hoff, C., Cromwell, K., Hermsdorf, J., Akin, M., Wurz, M. C., Kaierle, S., Maier, H. J. & Overmeyer, L., 24 März 2016, High-Power Laser Materials Processing: Lasers, Beam Delivery, Diagnostics, and Applications V. Kaierle, S. & Dorsch, F. (Hrsg.). SPIE, 97410K. (Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering; Band 9741).

    Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/KonferenzbandAufsatz in KonferenzbandForschungPeer-Review

  21. Veröffentlicht

    Spatiotemporal phosphoprotein distribution and associated cytokine response of a traumatic injury

    Han, A. A., Currie, H. N., Loos, M. S., Vrana, J. A., Fabyanic, E. B., Prediger, M. S. & Boyd, J. W., März 2016, in: CYTOKINE. 79, S. 12-22 11 S.

    Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungPeer-Review

  22. Veröffentlicht

    Concept development and evaluation of a hermetically sealed ceramic package

    Kusch, A., Rissing, L. & Wurz, M. C., 2016, S. 413-416. 4 S.

    Publikation: KonferenzbeitragPaperForschungPeer-Review