Vertikalofensystem Verticoo 200 von Centrotherm für die Nass- und Trockenoxidation von Silizium bis 150 mm Durchmesser, bis 1100 °C (CENTROTHERM VERTICOO 200), Oxidationsrohr, vertikal, Oxidation trocken und feucht, Feuchtoxidation mit Steamer (Wasserdampf aus DI-Wasser) oder Hydrox-Brenner (Wasserdampf aus H2 und O2 verbrannt). Scheibengröße 150 mm und 200 mm, mit Adaptern auch 100 mm und „Stückchen“, Vollhandlingsystem, aber auch manuell bedienbar. Alle Oxidationsrohre haben einen DCE-Bubbler eingebaut.