1. MPP-Rechencluster

    Nominandum, N. (Leitung) & Krojanski, H. G. (Leitung)

    Leibniz Universität IT Services (LUIS)

    Ausstattung/Einrichtung: Großgerät

  2. Reaktive Ionenätzanlage RIE (Cl und F)

    Ding, F. (Leitung) & Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Großgerät

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