Gerät für reaktives Ionenätzen (RIE) mit induktiv gekoppelter Plasmaquelle (ICP) für Cl- und F-Chemie (OXFORD RIE). Die RIE-Technik kombiniert isotropes chemisches Ätzen und anisotropes physikalisches Ätzen (Sputtern). RIE: Kontrolle über die Ionenenergie und die Ionendichte, jedoch nicht unabhängig davon. ICP: Kontrolle über die Ionendichte. ICP-RIE: unabhängige Kontrolle von Ionendichte und Ionenenergie.<br/><br/>